표면 피니싱 공정시 오염 물질이 배출되지 않은 청정 공정, 복잡하고 미세한 형상을 갖는 피처리물의 표면 피니싱을 용이하게 함과 동시에 표면의 조도나 디버링 특성을 향상시킬 수 있는 피니싱 장치를 제공하는데 목적으로 하여, 피처리물의 표면을 최적 조건으로 표면 피니싱 처리 할 수 있으며, 표면 개질 특성이 향상될 수 있음. 또한, 공정단축 및 표면 피니싱의 자동화가 가능하여 생산 수율이 향상될 수 있으며, 이온빔을 이용한 공정에 전자빔을 더하여 공정시 오염 물질이 배출되지 않으며, 복잡하고 미세한 형상을 갖는 피처리물의 피니싱을 용이하게 함과 동시에 표면의 조도나 디버링 특성을 향상시킬 수 있음