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하이브리드 재료를 이용한 미세광학소자의제작방법
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2012-12-13 -
242
- 구분
- 화학/생명공학
- 특허권자
- 한국과학기술원
- 출원번호
- KR2006-0073106
- 등록번호
- KR0786800
사진현상형 하이브리드 재료를 이용함으로써 미세광학소자의 제조에 있어 복잡한 공정이 요구되는 포토리소그래피 공정의 식각공정을 이용하지 않고서도 미세광학소자를 간단하게 제조하는 방법과 공정상의 이로움을 통해 미세광학소자의 광특성을 자유롭게 제어할 수 있음
<미세광학소자의 제조공정도>
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