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고품질의 대면적 글래시 산화물 타겟의 제조방법 및 그 제조 방법에 의한 타겟
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2012-12-11 -
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- 구분
- 화학/생명공학
- 특허권자
- 한국기초과학지원연구원
- 출원번호
- KR2005-0086592
- 등록번호
- KR0734811
이에 따라 적정 조성비의 금속산화물 시료를 용융하여 다양한 크기의 성형접시에 부은 후 냉각시켜 글래시 타겟 형태로 완성하여 타겟제조시간 및 노력, 비용을 월등히 개선시킨 고품질의 대면적 글래시 금속산화물 타겟을 제조할 수 있으며, 적정 조성비의 금속산화물 시료를 용융하여 다양한 형태 및 크기의 성형접시에 부은 후 냉각시켜 글래시 타겟 형태로 완성하여 타겟 제조시간 및 노력, 비용을 월등히 개선시킨 고품질의 대면적 글래시 금속 산화물 타겟의 제조방법 및 그 타겟의 제공을 목적으로 함
<대면적 글래시 산화물 타겟의 제조방법>
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