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반도체 기판 상의 소정 영역에 탄소나노튜브를 형성시키는 방법을 이용한 반도체 도선 형성방법
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2012-12-11 -
210
- 구분
- 전자/정보통신
- 특허권자
- 한국과학기술원
- 출원번호
- KR2005-0080632
- 등록번호
- KR0663076
반도체 소자를 제조하는 방법은, 기판 위에 몰드를 패터닝하는 단계; 패터닝에 의해 형성된 홈 및 몰드 전면에 탄소나노튜브를 도포하는 단계; 몰드 전면에 도포된 탄소나노튜브를 홈에 채워 넣는 단계; 및 몰드를 제거하는 단계를 포함하는 반도체 소자 제조방법인 것을 특징으로 이루어짐
<탄소나노튜브 선택적 형성방법 단면도>
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