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효과적인 전자기파 전달을 위한 표면파 플라즈마 방전관
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2017-01-13 -
270
- 구분
- 기계/금속
- 특허권자
- 국가핵융합연구소
- 출원번호
- 2015-0129677
- 등록번호
- 0
▶ 방전관의 냉각과 전자기파 전달 효과가 개선된 기술임
▶ 유전체 매질만을 통과하도록 하여, 방전관 내로 전달되는 전자기파의 손실을 최소화 하며 냉각능력이
높은 냉각액체(물)로도 방전관을 효과적으로 냉각시킬 수 있음
▶ 유전체 특성에 관계없는 효과적 방전관 냉각 기술 강구함
▶ 반도체 공정 챔버의 원격세정원이나 반도체 부동화 및 피막제거용 플라즈마원 등에 다양하게 활용
가능
<플라즈마 방전관 사진>
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